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自从星源科技与华科协会下属的光电所,联手研发出了‘磁约束放电等离子体光源’(即MDP)技术后,便开始着手攻克光刻机的第二大技术壁垒——光学系统。
毕竟,单是‘造出光’还不行,还得‘用好这束光’,
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