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进行SS1mb辐射理论的解析推导,并配合半导体部门的工程师们开始研发相关数值程序的时候,顾青还让李由督促相关部门一起搭建大夏国的最大光学研究平台,不为别的,就为了培养光学人才。
在其他半导体相关产业的从业者看来,光刻是集成电路芯片制造中最复杂、最关键的工艺步骤,毕竟光刻机需要光源设备、照明设备、投影物镜、机械及控制等系统组成,每一代技术更迭都需要减小光源波长、降低工艺因子、增大物镜数值孔径来。
半个多世纪以来,光刻机光源的波长从最初的可见光逐步演化到的极紫外光刻和更加微小的SS1mb光源。
目前世界上唯一的EUV光刻机供应商,仍然还是荷兰的阿斯麦公司,但这家公司却不再是世界上最强大的光刻机供应商企业。
浦东微电子公司的光刻机搭载了九州科技的SS1mb光源与九州科技特别研制的光刻胶、抛光工艺,现在浦东微电子,才是全球最顶级的光刻机供应商。
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