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化学机械联合抛光的方法,相较于传统的单一方法有更高的加工精度和加工速度。
李毅风找到的这台机器,就是利用磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光,避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点,是目前唯一能兼顾
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化学机械联合抛光的方法,相较于传统的单一方法有更高的加工精度和加工速度。
李毅风找到的这台机器,就是利用磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光,避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点,是目前唯一能兼顾
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