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第一百七十六章:国产DUV光源(2/3)

书名:科技:打破垄断全球的霸权  作者:女术士之友  字数:2060字  更新时间:2021-12-29 08:21

  【科技:打破垄断全球的霸权】小说免费阅读,请收藏 爱微阅读网【2vdu.com】

  光源设备运行,激光器发射出来的深紫外光

  经过矫正后,进入能量控制器、光束成型装置等设备,再进入光掩膜台。

  光掩膜台上面放的测试用的光掩膜,之后经过物镜投射到曝光台。

  曝光台上放置着一张8英寸晶圆片,上面涂抹了光刻胶。

  半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的,但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。

  “这,这,这……”

  “这居然是真的,国产DUV光源?我不是在做梦吧,老赵。”

  “纯净度极为优秀”

  刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机,嘴巴不自觉张大,眼神有些涣散。

  李由作为一个有家室的中年人,很是照顾后辈。

  他走到这人身旁,拍了拍他的肩膀。

  “回回神,这才刚开始。”

  “啊?啊?什么开始?你们可以把这个光源卖给我们吗?现在就可以用我们国产的光源了吗?”

  这位青年工程师有些语无伦次,其他研发人员和工程师亦是如此。

  整个实验室和光刻机工作间的人都震惊了。

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