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光源设备运行,激光器发射出来的深紫外光
经过矫正后,进入能量控制器、光束成型装置等设备,再进入光掩膜台。
光掩膜台上面放的测试用的光掩膜,之后经过物镜投射到曝光台。
曝光台上放置着一张8英寸晶圆片,上面涂抹了光刻胶。
半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的,但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。
“这,这,这……”
“这居然是真的,国产DUV光源?我不是在做梦吧,老赵。”
“纯净度极为优秀”
刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机,嘴巴不自觉张大,眼神有些涣散。
李由作为一个有家室的中年人,很是照顾后辈。
他走到这人身旁,拍了拍他的肩膀。
“回回神,这才刚开始。”
“啊?啊?什么开始?你们可以把这个光源卖给我们吗?现在就可以用我们国产的光源了吗?”
这位青年工程师有些语无伦次,其他研发人员和工程师亦是如此。
整个实验室和光刻机工作间的人都震惊了。
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