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然后就是铺天盖地的辱骂贬低,甚至“国产高科技产品”被舆论批评成为了“伪劣产品”。
德国货、霓虹货、美版就是好。
而浦东微电子硬是扛着这些流言蜚语,一路埋头苦干,直到现在能量产90纳米的光刻机。
公开资料中描述用的的ARF光源193纳米。
这说明如果有更好的光源,光刻机精度将会很快得到提升。
“你不知道啊,核心部件大功率激光器,需要稳定可控达到2万w以上的激光。这种激光器的组件只有德国和美利-坚可以供应。
我们在这一领域和他们差距巨大。因为没有需求,所以几乎没有一家公司能够提供相应的部件。
后来哈工大的老庄替我们牵线,和他们合作后,也不得不选择功率难以提高但不需要大功率激光器的DPP方案作为切入点。
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